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等離子清洗機
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180L真空等離子清洗機

產品型號:TS-PL180MA

產品簡介: 標準離線式真空等離子清洗機,功能包括表面活化改性等等,增加粘接性,提升附著力,處理各種電子材料,包括塑料、金屬或者玻璃等,應用于各行各業

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真空等離子清洗機TS-PL180MA產品參數:

型號 真空等離子清洗機TS-PL180MA
電源頻率 40KHz/13.56MHz可選
容量 180L
功率 0-1000W(可調)
腔體尺寸 (長寬高mm)500*600*600
處理層數 17層
外形尺寸 (長寬高mm)1200*1200*1730
真空泵 油泵/干泵+羅茨組合
真空度 5-100pa(可調)
腔體材質 316不銹鋼/進口鋁合金(選配)
氣體流量控制 0-500SCCM(MFC±2%)
氣體通道 兩路(可增加):Ar/N2/H2/CF4/02
等離子體發生器 40KHz/13.56MHz
腔體溫度 <30℃
控制方式 PLC+觸摸屏
系統控制軟件 自主研發V2.0
電極陶瓷 進口高頻陶瓷

真空等離子清洗機產品特點

大型真空等離子清洗機其功能部件包括:反應倉、機械骨架、供氣系統、真空系統、射頻電源和控制系統。

1) 采用13.56MHz的射頻電源,并帶有自動阻抗匹配器,可提供穩定的處理工藝;

2) 采用平板式結構,利于等離子體均勻分布

3)采用帶有觸摸屏人機界面的PLC來控制等離子體電源的各項參數以及各個輸入輸出設備,優點在于人機界面友好、靈活性高、穩定可靠,減少人為產生的失誤。同時便于在不斷的工藝實驗過程中通過軟件來持續提升設備性能。對于工藝管理使用配方方式,方便于各個參數的輸入與管理。同時可以對不同內容的參數進行分級操作,滿足設備操作員、工藝工程師、設備工程師對于人機交互的不同要求。并在設備中設計多重軟硬件連鎖的保護功能來確保操作人員以及設備的安全。

4) 所有功能部件內置,結構緊湊;

5)靈活的擱架結構,電極板可拆卸,并且可靈活調節距離放置不同的清洗物。

等離子清洗設備作為一種精密干法清洗設備,適用于混合集成電路、單片集成電路管殼和陶瓷基板的清洗;應用于半導體、厚膜電路、元器件封裝前、硅片刻蝕后、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,可去除金屬表面的油脂、油污等有機物及氧化層。還可應用于塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。

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