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等離子清洗機
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首頁 產品中心 真空等離子清洗機 小型實驗型等離子表面處理儀 10L真空射頻等離子清洗機

10L真空射頻等離子清洗機

產品型號:TS-PL10MA

產品簡介: 學校、醫院等機構實驗室科研使用,用于材料表面清洗活化,提升粘接力

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小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA產品參數:

型號 小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA
真空腔規格
材質316不銹鋼
腔體尺寸 L200mm*W270mm*H200mm
電極
平板氣浴電極 材質6061-T6鋁合金
功率電極
1
接地電極
1
電極尺寸
180mm *230mm(最大可處理產品尺寸規格)
頻率
13.56MHz
功率
0-300W連續可調,精度1W,可在設備運行中隨時調整參數
氣體控制
精密針閥式浮子流量計, 0-1000ml
氣體通道 2路(可增加)
真空度測量儀器
 2色顯示式高精度數字式壓力開關(SMC)
控制方式
4.3寸工業控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
控制軟件功能
界面顯示實時工作狀態
電極板配置
配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調整,可按需求調整極板位置
設備規格尺寸
長500mm 寬550mm 高800mm

小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA產品特點

? 卓越的密封性腔體:采用進口316不銹鋼腔體,軍工級的高真空度真空腔體設計及制造工藝。

? 高密度等離子電源技術:采用進口等離子電源電路技術,確保出眾的清洗效果。

? 獨有放電技術:特殊處理的放電裝置,確保形成穩定均勻的等離子體。

? 高精度氣體流量監測系統兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體),雙路氣流控制,比例可調,采用MFC質量流量計、氣體管路及閥件。

? 優質產品部件:產品部件采用國內外頂尖優質品牌,確保設備性能優越。

? 數字計時單元:1-9999s選擇范圍時間顯示,處理過程結束后自動終止。

? 適用形狀復雜樣品:清洗各種復雜形狀的產品,包括內孔內壁,全方位均勻清洗。

? 處理全程無污染等離子清洗機本身是很環保的設備,無產生任何污染,處理過程也無產生任何污染。

真空等離子清洗機產品介紹:

等離子清洗機,可通過選用不同種類的氣體,調整裝置的特征參數等方法使工藝流程實現最佳化。真空等離子清洗機由真空室、真空泵、高頻電源、電極、氣體導入系統、工件傳送系統和控制系統等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉油泵,高頻電源通常采用13.56MHz.的無線電波。裝置的運行過程如下:

(1)被清洗的工件送入真空室并加以固定,啟動運行裝置,開始排氣,使真空室內的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要2min。

(2)向真空室內引入等離子清洗用的氣體,并使其壓力保持在100Pa。根據清洗材質的不同,可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮氣等氣體。

(3)在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而發生離子化和產生等離子體。讓在真空室產生的等離子體完全籠罩住被處理工件,開始清洗作業。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。

(4)清洗完畢后切斷高頻電壓,并將氣體及汽化的污垢排出,同時向真空室內鼓入空氣,并使氣壓升至一個大氣壓。

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